GB/T 14142-1993 硅外延層晶體完整性檢驗(yàn)方法腐蝕法

【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 14142-93
【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅外延層晶體完整性檢驗(yàn)方法腐蝕法  
【 英文名稱 】 Test method for crystallographic perfection of epitaxial layers in silicon by etching techniques
【 發(fā)布單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 批準(zhǔn)單位 】 國家技術(shù)監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1993-2-6
【 實(shí)施日期 】 1993-10-1
【 所屬標(biāo)準(zhǔn) 】 GB
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 采用關(guān)系 】 ASTM F80-1985,REF
【 起草單位 】 峨嵋半導(dǎo)體材料研究所
【 起 草 人 】 趙慶貴; 吳毅