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GB 11073-1989 硅片徑向電阻率變化的測量方法

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兌水 發表于 2008-11-13 10:18:10 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
【 標準編號 】 GB 11073-1989
【 標準名稱 】 硅片徑向電阻率變化的測量方法  
【 英文名稱 】 Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices
【 發布單位 】 SBTS
【 批準單位 】 中國有色金屬工業總公司
【 發布日期 】 1989-1-28
【 實施日期 】 1990-2-1
【 開本頁數 】 12P

bz001002637.pdf

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