平面平晶的使用方法

我們公司別的部門(mén)買(mǎi)了幾個(gè)平面平晶，說(shuō)是要檢查平面度，請(qǐng)教我們?cè)趺词褂茫乙彩侵恢佬┢っ孟袷钦f(shuō)干涉條紋越少越好，別的就一知半解了，請(qǐng)教有什么可以參考的資料嗎？

測(cè)量時(shí)﹐把平晶放在被測(cè)表面上﹐且與被測(cè)表面形成一個(gè)很小的楔角  ﹐以單色光源照射時(shí)會(huì)產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測(cè)表面﹐且平晶與被測(cè)表面間的間隙很小﹐則由平晶測(cè)量面P 反射的光線與被測(cè)表面反射的光線在測(cè)量面 P 發(fā)生干涉而出現(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下﹐則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直﹐相互平行﹐且分布均勻﹐則表示被測(cè)表面的平面度很好﹔如干涉條紋彎曲﹐則表示平面度不好。其誤差值為 ﹐式中 為兩干涉條紋間距離﹐ 為干涉條紋的彎曲值﹐ 為光波波長(zhǎng)﹐白光波長(zhǎng)一般以0.6微米計(jì)算。

當(dāng)干涉條紋平直、互相平行，且又均勻分布時(shí)，則說(shuō)明其平面度好；當(dāng)干涉條紋不規(guī)則、且無(wú)規(guī)律時(shí)，則說(shuō)明其平面度不好。

平面平晶的干涉條紋平直則表示平面好.如果是彩色光圈一圈則是0.3微米,如看到不是一圈而是多圈則用所看到的圈數(shù)乘以0.3則是它的平面度.如是弧形則表示是0.3以下.

最簡(jiǎn)單的方法，在測(cè)量時(shí)讀出明暗條紋的條紋數(shù)（明或暗，一般讀出暗條紋的個(gè)數(shù)即可）乘以0.3，結(jié)果即是平面度。（單位為um)

原帖由 duomeiti 于 2008-6-12 21:53 發(fā)表
測(cè)量時(shí)﹐把平晶放在被測(cè)表面上﹐且與被測(cè)表面形成一個(gè)很小的楔角  ﹐以單色光源照射時(shí)會(huì)產(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關(guān)。如入射光線垂直于被測(cè)表面﹐且平晶與被測(cè)表面間的間隙很小﹐則由平晶測(cè)量面P 反射的光 ...

單色光源是指什么？？？？
平時(shí)的手電筒行不？

原帖由 nana 于 2008-6-13 09:31 發(fā)表
最簡(jiǎn)單的方法，在測(cè)量時(shí)讀出明暗條紋的條紋數(shù)（明或暗，一般讀出暗條紋的個(gè)數(shù)即可）乘以0.3，結(jié)果即是平面度。（單位為um)

這個(gè)乘以0.3的結(jié)論是怎么得來(lái)的呀，謝謝！

白光波長(zhǎng)一般以0.6um，（λ/2）=0.3um。

游標(biāo)卡尺的測(cè)量面平面度用什么檢定？　平晶還是刀口尺？

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:57 編輯 ]

外量爪用刀口尺測(cè)量，內(nèi)量爪用千分尺測(cè)量。

原帖由 rybmsi 于 2008-6-13 09:35 發(fā)表

單色光源是指什么？？？？
平時(shí)的手電筒行不？

單色光源一般情況下就是指日常工作光源，像白色熒光燈之類(lèi)！

原帖由 zjauto 于 2008-6-17 21:26 發(fā)表
游伴卡尺的測(cè)量面平面度用什么檢定？　平晶還是刀口尺？

游標(biāo)卡尺的測(cè)量面平面度用刀口尺檢。見(jiàn)：JJG 30-2002 通用卡尺檢定規(guī)程

你們公司平晶如果沒(méi)有等厚干涉儀需要三個(gè)相互檢定才行，

引用一本書(shū)上的內(nèi)容:
1)根據(jù)干涉條紋計(jì)算平面度誤差
測(cè)量時(shí)若出現(xiàn)向一個(gè)方向彎曲的干涉條紋，如圖所示，調(diào)整平晶位置，使之出現(xiàn)3～5條干涉帶，則平面度誤差的近似值為：
f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波長(zhǎng)，白光的平均波長(zhǎng)為0.58μm,ν為干涉帶彎曲量，ω為干涉帶間距
但是如何精確確定ν和ω的值,我也很迷惑!
2）根據(jù)光圈計(jì)算平面度誤差
若被測(cè)平面凹或凸，則會(huì)出現(xiàn)環(huán)形干涉帶，調(diào)整平晶的位置，使干涉帶數(shù)為最少，則平面度誤差的近似值為：
f＝(λ/2) ×n
λ為光波波長(zhǎng)，白光的平均波長(zhǎng)為0.58μm；n為平晶直徑方向上的光圈數(shù)

示意圖如下


[ 本帖最后由 duomeiti 于 2008-6-27 16:55 編輯 ]

平晶具有兩個(gè)（或一個(gè)）光學(xué)測(cè)量平面的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量規(guī)。
光學(xué)測(cè)量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面，
它能夠產(chǎn)生光波干涉條紋（見(jiàn)激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù)）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。
平面平晶用于測(cè)量高光潔表面的平面度誤差，
圖1a為用平面平晶檢驗(yàn)量塊測(cè)量面的平面度誤差。
平行平晶的兩個(gè)光學(xué)測(cè)量平面是相互平行的，用于測(cè)量?jī)筛吖鉂嵄砻娴钠叫卸日`差，
例如千分尺兩測(cè)量面的平行度誤差（圖1b）。平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。
圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。
其光學(xué)測(cè)量平面的平面度誤差為:1級(jí)精度的為0.03～0.05微米；2級(jí)精度的為0.1微米。
常見(jiàn)的長(zhǎng)方形平面平晶的有效長(zhǎng)度一般為200毫米。

[localimg=310,300]1[/localimg]


[ 本帖最后由 herringhsu 于 2008-7-6 20:23 編輯 ]

最簡(jiǎn)單的方法，在測(cè)量時(shí)讀出明暗條紋的條紋數(shù)（明或暗，一般讀出暗條紋的個(gè)數(shù)即可）乘以0.3，結(jié)果即是平面度。（單位為um)
nana 發(fā)表于 2008-6-13 09:31

搞幾何量計(jì)量的人不應(yīng)出現(xiàn)這樣的錯(cuò)誤：微米應(yīng)寫(xiě)作μm，而不應(yīng)寫(xiě)作um，希臘字母μ是詞頭，它表示對(duì)長(zhǎng)度的主單位米（m）的負(fù)6此方，而英語(yǔ)u不是詞頭，表達(dá)的意思也完全不一樣，所以u(píng)m是一個(gè)錯(cuò)誤的單位，說(shuō)明此事決不是吹毛求疵。

檢查千分尺的是一圈一圈的，圈數(shù)越少越好嗎？楔角是什么意思啊？

檢查千分尺的是一圈一圈的，圈數(shù)越少越好嗎？楔角是什么意思啊？
鐘智 發(fā)表于 2009-10-31 14:49

當(dāng)然是圈數(shù)越少越好;楔角是指平晶與千分尺測(cè)砧之間所保持的角度(平晶并不是平壓在測(cè)砧上時(shí))，就像14#回帖中左邊那幅圖一樣。

收獲很大啊。只是沒(méi)有看到圖阿？

繼續(xù)學(xué)習(xí)中

繼續(xù)學(xué)習(xí)中，有一點(diǎn)遺憾的是圖片打不開(kāi)

挺好，學(xué)習(xí)了！

來(lái)學(xué)習(xí)，受教了