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[活度] 能譜儀

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實驗室認可領域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 能譜儀
英文名稱:
型號規格:
測量范圍:
等級:
分辨率:
技術指標: -
生產廠家: -
描述: X射線能譜儀(簡稱能譜儀，EDS)是一種常見的用于分析試樣化學組成以及對該組成進行定量分析的儀器，一般與掃描電子顯微鏡(簡稱掃描電鏡，SEM)或者電子探針(簡稱 EPMA)組合使用，其中SEM/EDS組合最廣泛。其工作原理如下:SEM或者 EPMA 發射具有一定能量的聚焦電子東轟擊試樣表面，會產生相應被激發元素的特征X射線。這些射線被X射線探測器檢測，經過信號轉換、放大等一系列處理和分析后，可以得到試樣中所含各元素的特征X射線強度值。通過與相應元素標準樣品的X射線能譜的對比測定和修正計算處理，可以獲得被測試樣化學組成的定量分析結果，能譜儀的結構示意圖見圖1。
能譜儀的窗口類型可分為 Be 窗口、超薄窗口和無窗，制冷模式可分為液氮制冷和電制冷，探測器類型可分為 Si-li探測器和硅漂移探測器(SDD)。
相關文檔:  
相關標準: JJF 2067 X射線能譜儀校準規范

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