干涉式三維表面形貌測量儀校準規(guī)范征求意見稿

干涉式三維表面形貌測量儀基于雙光束干涉的原理，經(jīng)樣品表面反射回的參考光與測量光形成干涉條紋，并經(jīng)由CCD采集，經(jīng)過算法重構(gòu)獲得表面形貌，在垂直方向上可以達到亞納米級的分辨力，其結(jié)構(gòu)示意圖見圖1。

這是中圖那款光學3D表面輪廓儀的不。