【 標(biāo)準(zhǔn)編號 】 GB/T 19922-2005 【 標(biāo)準(zhǔn)名稱 】 硅片局部平整度非接觸式標(biāo)準(zhǔn)測試方法 【 英文名稱 】 Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning 【 發(fā)布單位 】 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局; 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會 【 發(fā)布日期 】 2005-9-19 【 實施日期 】 2006-4-1 【 開本頁數(shù) 】 9P 【 引用標(biāo)準(zhǔn) 】 GB/T 14264; ASTMF 1530-94 【 起草單位 】 洛陽單晶硅有限責(zé)任公司; 中國有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量研究所 【 起 草 人 】 史舸; 蔣建國; 陳興邦; 賀東江; 王文; 鄧德翼
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2008-5-3 21:25 上傳
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