基于激光干涉儀與自準(zhǔn)直儀的平面鏡輪廓高精度測量技術(shù)

作　　者：楊平[1] 朱睿[1] 郭隱彪[1] 高增潔[2]
機(jī)構(gòu)地區(qū)：[1]廈門大學(xué)物理與機(jī)電工程學(xué)院,廈門361005 [2]東京大學(xué)精密工學(xué)系東京1138656,日本
摘　　要：基于三組激光干涉光路與一臺自準(zhǔn)直儀的光學(xué)掃描檢測方法,開發(fā)可用于大尺寸平面鏡二維輪廓的高精度測量技術(shù)。通過聯(lián)立線性方程式與最小二乘法結(jié)合的計(jì)算算法,可得到平面鏡二維輪廓的測量結(jié)果及整個測量過程的不確定度值。利用建模仿真整個測量過程,分析不同采樣點(diǎn)數(shù)N下不確定度數(shù)值的變化趨勢。此外,搭建基于高精度三坐標(biāo)測量儀平臺上的光學(xué)檢測系統(tǒng),試驗(yàn)果表明該技術(shù)成功實(shí)現(xiàn)對100 mm平面鏡二維輪廓的測量,并可實(shí)現(xiàn)重復(fù)性測量精度在±20 nm范圍內(nèi)。通過與Zygo白光干涉系統(tǒng)結(jié)果的比較,該檢測技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)納米級別的測量精度。