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[幾何量儀器] zygo干涉儀如何檢定

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1#
計量民工 發(fā)表于 2011-4-8 13:28:40 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
型號為GPI XP4的zygo干涉儀如何檢定
用什么型號等級的標準
在線等
2#
caolb 發(fā)表于 2011-6-25 18:05:12 | 只看該作者
用直徑150mm的標準平晶，其平面度為波長/30
3#
drymartiny 發(fā)表于 2013-5-30 16:04:41 | 只看該作者
樓上確定么？
4#
深圳漁民 發(fā)表于 2013-5-31 16:30:03 | 只看該作者
找國家計量院吧，他們有1/40的標準平晶。
5#
lqxiaocat綠葉 發(fā)表于 2023-12-1 13:49:22 | 只看該作者
你好，請問有ZYGO干涉儀的檢定規(guī)范嗎
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