納米尺度線寬的測量與Nanol國際關(guān)鍵比對

褚巍 趙學增 肖增文 王偉杰哈爾濱工業(yè)大學機電工程學院，黑龍江哈爾濱150001摘　要:現(xiàn)代集成電路制造業(yè)、數(shù)據(jù)存儲工業(yè)和微機電系統(tǒng)等行業(yè)的不斷發(fā)展，對納米尺度線寬的測量提出了越來越高的要求。目前的一些測量方法分別存在各自的缺點與不足，在缺少更高準確度計量標準的情況下，往往采用比對的方法使計量結(jié)果趨于一致。國際計量局在1998年把納米尺度線寬計量確定為納米尺度基本特征國際關(guān)鍵比對項目之一。文章對它的主要研究內(nèi)容以及進展情況作了介紹。