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[線紋] 大范圍納米測量機

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八一八 發表于 2024-8-22 14:14:00 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
實驗室認可領域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 大范圍納米測量機
英文名稱: Millimeter measurement range metrological nano geometric structure standard device
型號規格:
測量范圍: 10mm
等級:
分辨率:
技術指標: 2nm~20nm
生產廠家: -
描述: 1) 位移臺采用了“氣浮-滑動混合位移臺”的設計，保證了三維大范圍運動時的平穩性，在垂直方向上無微振動，并且全行程內角擺誤差減小到極小值;
2) 測頭裝置突破了商品化原子力顯微鏡測頭采用的管狀掃描器的局限，使用三維納米位移臺驅動，實現了正交、閉環掃描，使得測頭量值可溯源;
3) 在干涉測量系統中，自研了光學 8 倍程激光干涉儀，提出了“諧波分離修正法”并已申請國家專利。最終毫米級裝置具備了量值可溯源、大行程范圍以及測頭可實現三維正交掃描的特點。
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