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[線紋] 激光干涉比長儀

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18350222659 發(fā)表于 2024-8-16 08:52:48 | 只看該作者 |只看大圖 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可領(lǐng)域分類
儀器圖片:
儀器名稱: 激光干涉比長儀
英文名稱: Laser interferometric comparators
型號(hào)規(guī)格:
測量范圍: （0~2000)m
等級(jí):
分辨率: 0.01μm
技術(shù)指標(biāo): U=(0.06+0.1L)um,k=3,L:m
生產(chǎn)廠家: -
描述: 激光干涉比長儀是以激光波長為測長基準(zhǔn)，直接測量線紋尺、線性位移傳感器、激光干涉儀等線值類長度測量標(biāo)準(zhǔn)的儀器。激光干涉比長儀由機(jī)械主體、測長系統(tǒng)、瞄準(zhǔn)系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、環(huán)境參量測量系統(tǒng)及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等部分組成，典型結(jié)構(gòu)如圖1所示。測長系統(tǒng)包括穩(wěn)頻激光光源、干涉光路、波長修正系統(tǒng)等；瞄準(zhǔn)系統(tǒng)采用光電顯微鏡或影像測頭等進(jìn)行刻線瞄準(zhǔn)或讀數(shù)。
相關(guān)文檔:  
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn): JJF 1913 激光干涉比長儀校準(zhǔn)規(guī)范

激光干涉比長儀結(jié)構(gòu)示意圖.png (20.79 KB, 下載次數(shù): 360)

激光干涉比長儀結(jié)構(gòu)示意圖.png

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