白光干涉輪廓儀有檢定規(guī)程嗎

請教：白光干涉輪廓儀有校準規(guī)范嗎？我主要是用該儀器測量工能測量y,z方向的尺寸，這種情況下，可以按影像測量儀校準規(guī)范進行校準嗎？

目前只能按照ISO標準

有的：JJF（皖）146-2023白光干涉輪廓儀校準規(guī)范

有個JJF（蘇）261-2023 光學顯微干涉式三維表面形貌測量儀校準規(guī)范，適用于光學顯微干涉式三維表面形貌測量儀（也叫白光干涉儀），看看合適不。國家的也起草了，還沒公布。