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[工程參量] 平晶平面度如何計算?

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1#
柔指輕敲 發表于 2007-8-26 12:59:47 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
JJG28-2000 附錄D,25頁,說
"當被檢工作面小于或等于100mm時,按下式計算平面度  △f=(d↑2/95)*f95  "
這時不需要測量條紋間距a和彎曲量b嗎?如何理解呢?
2#
zssugen 發表于 2007-8-26 17:24:27 | 只看該作者

回復 #1 柔指輕敲 的帖子

      對高精度的小平面,其平面度誤差通常用平晶測量,測量時,將平晶的工作面置于被測表面上,并稍作傾斜以形成一個很小的空氣楔,根據光波干涉原理,可看到光波干涉帶。當干涉條紋呈現相互平行且為直的明、暗條紋時,則平面度誤差為零。改變平晶與實際表面的夾角,干涉條紋之間的距離將產生變化,空氣楔角增大,干涉條紋變密;反之,干涉條紋變疏。當平晶與被測實際表面形成封閉干涉條紋時,平面度誤差為干涉條紋數乘以光波波長之半,若干涉條紋為不封閉的彎曲形狀,平面度誤差f為干涉條紋彎曲度與相鄰兩條紋間距之比(a/b),再乘以光波波長之半,即f=a/b×(λ/2)。

[ 本帖最后由 duomeiti 于 2007-8-26 18:47 編輯 ]

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3#
深圳漁民 發表于 2007-8-27 10:47:43 | 只看該作者

回復 #1 柔指輕敲 的帖子

你沒有仔細看規程。這里說的是"當被檢工作平晶直徑于或等于100mm時,應按下式計算標準平晶在該區域的平面度”。目前各單位用的等厚干涉儀多是北京計量儀器廠出的,標準平晶直徑150mm,檢定證書會給兩個平面度值,全范圍的和D96(也就是中心2/3直徑)的平面度。當被檢平晶直徑等于100mm時,應該用D96平面度值,當被檢平晶直徑小于100mm時,要按規程D.2公式計算標準平晶在該區域的平面度,實際就是計算修整量。

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4#
深白色 發表于 2007-9-4 11:26:45 | 只看該作者

回復 #1 柔指輕敲 的帖子

還有一點需要注意,就是規程上的公式是有印刷錯誤
5#
九江風云 發表于 2007-9-14 19:11:14 | 只看該作者
估算出來準確嗎?不是太好理解。
6#
gj3711 發表于 2007-9-15 00:12:01 | 只看該作者
有幾條干涉帶如何判斷呢?
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