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標題: GB/T 16880-1997光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則 [打印本頁]
作者: woshi_tjy    時間: 2008-12-13 09:49
標題: GB/T 16880-1997光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則
【 標準編號 】 GB/T 16880-1997
【 標準名稱 】 光掩模缺陷分類和尺寸定義的準則  
【 英文名稱 】 Guidelines for photomask defect classification and size definition
【 發(fā)布單位 】 國家技術監(jiān)督局
【 批準單位 】 國家技術監(jiān)督局
【 發(fā)布日期 】 1997-6-20
【 實施日期 】 1998-3-1
【 開本頁數(shù) 】 6P
【 引用標準 】 SJ/T 10584-94
【 采用關系 】 IDT SEMI P22-93
【 起草單位 】 中國科學院微電子中心
【 起 草 人 】 陳寶欽; 陳森錦; 廖溫初

BZ002023496.pdf

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