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計(jì)量論壇

標(biāo)題: 橢偏儀的結(jié)構(gòu)和原理 [打印本頁]
作者: jane_wang    時(shí)間: 2008-8-12 15:56
標(biāo)題: 橢偏儀的結(jié)構(gòu)和原理
不知道有沒有人用橢偏儀
作者: Rie    時(shí)間: 2008-8-12 20:54
此類儀器較多用于長(zhǎng)度量的測(cè)量
作者: kking    時(shí)間: 2009-1-6 12:32
原帖由 Rie 于 2008-8-12 20:54 發(fā)表
此類儀器較多用于長(zhǎng)度量的測(cè)量


橢偏儀一般是測(cè)試薄膜的厚度的...可到0.1nm級(jí)別.測(cè)試長(zhǎng)度的橢偏儀倒沒有聽說過.
作者: Rie    時(shí)間: 2009-1-13 20:01
我說的是長(zhǎng)度量，0.1nm不是表征長(zhǎng)度的物理量嗎。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 編輯 ]
作者: shiftctl    時(shí)間: 2020-4-29 15:23
沒積分。。。。
作者: shiftctl    時(shí)間: 2020-7-3 17:11
kking 發(fā)表于 2009-1-6 12:32
橢偏儀一般是測(cè)試薄膜的厚度的...可到0.1nm級(jí)別.測(cè)試長(zhǎng)度的橢偏儀倒沒有聽說過. ...

確實(shí)式測(cè)量厚度，本想再這個(gè)論壇搜索下這個(gè)資料的，看來用這個(gè)的人比較少
作者: shiftctl    時(shí)間: 2020-8-25 16:19
Rie 發(fā)表于 2009-1-13 20:01
我說的是長(zhǎng)度量，0.1nm不是表征長(zhǎng)度的物理量嗎。

[ 本帖最后由 Rie 于 2009-1-13 20:03 編輯 ] ...

這個(gè)論壇能否專業(yè)點(diǎn)。
這個(gè)是基本半導(dǎo)體行業(yè)用于測(cè)量膜厚度的。標(biāo)樣基本是100nm的厚度膜。
而且涉及橢偏儀角度之類的，所以校準(zhǔn)應(yīng)該是涉及角度和膜厚還有折射率之類的。
目前我看了中國計(jì)量院好像有這個(gè)，還有光伏中心實(shí)驗(yàn)室也有部分有，應(yīng)該是用標(biāo)樣片拿到現(xiàn)場(chǎng)比對(duì)下。
還不如自己拿標(biāo)樣去廠家那邊跑一下數(shù)據(jù)。



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