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標(biāo)題:
求助！SEM標(biāo)片結(jié)果超過最大允許誤差
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作者:
月見月初五
時(shí)間:
2022-11-9 10:08
標(biāo)題:
求助！SEM標(biāo)片結(jié)果超過最大允許誤差
各位大佬好：
我司送了一個(gè)SEM標(biāo)片，分別對(duì)100nm、1000nm的標(biāo)稱值做了檢測報(bào)告，結(jié)果得出100nm-100.1nm U95=4nm，1000nm-1013nm U95=11nm
我按照《掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》1um的最大允許誤差±1%，50nm-200nm最大允許誤差±3%。按照U95≤MPEV*1/3算出2個(gè)項(xiàng)目都超過最大允許誤差的1/3，并且1000nm的誤差值也超過最大允許誤差范圍。
想問下各位大佬，這個(gè)標(biāo)片我應(yīng)該怎么處理掉呢？是按照實(shí)測值正常用還是退貨，因?yàn)槭呛Ｍ獍l(fā)貨的，如果重新發(fā)又要耗費(fèi)很長時(shí)間。
微信圖片_20221109100452.png
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2022-11-9 10:05 上傳
最大允許誤差
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